多孔金屬限流器主要作用

1/防氣體流量失控?：防止因管線破裂、閥門故障導(dǎo)致的工藝氣體過載
2/穩(wěn)流降紊?：優(yōu)化氣體流動形態(tài)，形成層流，減少壓力波動與振動
3/純凈度保障?：攔截＞0.003μm顆粒，避免污染超純工藝氣體
半導(dǎo)體領(lǐng)域?：多孔金屬限流器以潔凈、穩(wěn)定、可定制為核心。

多孔金屬限流器特點(diǎn)

1.結(jié)構(gòu)緊透，節(jié)省空間
2.通過更換氣阻配件，可定剛不同流量
流量控制可靠持久
3.可用于高流量、高溫度與高壓力環(huán)境，減少氣體流動負(fù)擔(dān)，不易堵塞，可形成層流整體316L不銹鋼培構(gòu)，無結(jié)構(gòu)考由或顆粒脫落
4.使用壽命長
5.100%氦氣油露檢測通過

性能優(yōu)勢?：

? ?精準(zhǔn)控流?：通過更換氣阻配件調(diào)節(jié)流量，適配光刻/蝕刻等不同工藝需求
? ?潔凈安全?：無顆粒脫落，100%氨氣泄漏檢測認(rèn)證，保障氣體純凈度
? ?長效穩(wěn)定?：使用壽命長

多孔金屬限流器應(yīng)用

?半導(dǎo)體制造?：
?光刻（EUV）??：穩(wěn)定光刻氣體流量，提升圖案精度與良率
?薄膜沉積（CVD/PVD）??：保障反應(yīng)氣體均勻覆蓋，控制薄膜厚度一致性
?蝕刻與離子注入?：精確控制腐蝕性氣體流量，減少晶圓瑕疵風(fēng)險(xiǎn)
?工業(yè)場景?：
超純水處理、氣體消毒系統(tǒng)、新能源電池制造中的氣體管理