在半導(dǎo)體制造的真空腔體工藝中，氣體的純凈度與氣流的穩(wěn)定性直接決定了晶圓的生產(chǎn)質(zhì)量。深圳恒歌研發(fā)的 VCR316L 真空 3 納米過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用量身打造，憑借頂尖的過濾技術(shù)與穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，成為守護(hù)真空腔體環(huán)境的核心屏障。?

該過濾器的過濾精度高達(dá) 0.003um(即 3 納米)，采用不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，能高效攔截氣體中微小顆粒，防止微粒混入真空腔體。在晶圓光刻、薄膜沉積等關(guān)鍵工藝中，哪怕極細(xì)微的雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片缺陷，而 VCR316L 真空 3 納米過濾器可確保進(jìn)入腔體的氣體達(dá)到超純標(biāo)準(zhǔn)，有效幫助企業(yè)提高產(chǎn)品合格率。?

產(chǎn)品采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅具備出色的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能，還能巧妙規(guī)避排氣時(shí)的湍流產(chǎn)生。湍流會破壞真空腔體的穩(wěn)定環(huán)境，可能吹起腔體內(nèi)殘留顆粒或影響硅片位置，進(jìn)而干擾工藝精度。恒歌通過優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，讓氣體在排氣過程中保持平穩(wěn)流動(dòng)，從根源上減少湍流對工藝室環(huán)境的影響。?

同時(shí)，這款過濾器在潔凈室環(huán)境內(nèi)完成制造、測試與包裝，每一臺產(chǎn)品都經(jīng)過 100% 完整性測試和 100% 氨氣泄露檢測，確保出廠產(chǎn)品的可靠性與安全性。針對不同工廠的安裝空間差異，恒歌還提供定制化設(shè)計(jì)服務(wù)，讓過濾器能靈活適配各類設(shè)備布局。?

產(chǎn)品特點(diǎn)：?半導(dǎo)體制造超純氣體擴(kuò)散器

1、3 納米高精度過濾：攔截微小顆粒，保障氣體超純。?

2、VCR316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)：耐極端環(huán)境，延長使用壽命。?

3、抑制湍流產(chǎn)生：維持氣流平穩(wěn)，保護(hù)工藝環(huán)境。?

4、雙重嚴(yán)格檢測：100% 完整性與氨氣泄露檢測，質(zhì)量可控。?

5、潔凈室全流程生產(chǎn)：避免二次污染，確保產(chǎn)品潔凈。?

VCR316L 真空 3 納米過濾器，以卓越的性能滿足半導(dǎo)體真空腔體快速放氣需求，為半導(dǎo)體制造企業(yè)的高效、高質(zhì)量生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)保障。

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