DF系列擴散器專用過濾器專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計? ?穩(wěn)壓、穩(wěn)流、規(guī)避湍流，結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003um。獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、不僅確保高效過濾、更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生、對工藝室環(huán)境造成影響、有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計、靈活適應(yīng)各類安裝空間。

產(chǎn)品特點

不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)、可快速排氣

整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

減少工藝腔體排氣時的湍流

適用于多種工藝氣體

潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

100%完整性測試通過

100%氨氣泄露檢測通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

防止微粒混入、幫助提高產(chǎn)品合格率可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計

技術(shù)參數(shù)

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